氧化鋅薄膜是一種具有優(yōu)良的壓電、光電、氣敏、壓敏等性質(zhì)的材料。氧化鋅薄膜的制備方法多樣，薄膜的性質(zhì)取決于不同的摻雜組分，并與制備工藝緊密相關(guān)。簡述了氧化鋅薄膜的制備方法與基本性質(zhì)與應(yīng)用，分析了氧化鋅薄膜研究、應(yīng)用與開發(fā)現(xiàn)狀，展望了產(chǎn)業(yè)化發(fā)展前景。氧化鋅(氧化鋅)薄膜是一種具有廣泛用途的材料，其性能隨摻雜組分和制備條件的不同而變化。長期以來，對氧化鋅薄膜的研究主要集中在壓電性、透明導(dǎo)電性、光電性、氣敏性、壓敏性等方面。人們用氧化鋅薄膜做成了聲表面波諧振器、壓電器件、太陽電池透明電極和增透膜、液晶顯示器透明電極、氣敏濕敏傳感器等，在諸多領(lǐng)域得到了很好的應(yīng)用。